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VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

簡要描述:VTC-100PAD 真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體及光學(xué)元件等材料的表面涂覆與薄膜制備。設(shè)備兼容強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性溶液,滿足多樣化工藝需求。標(biāo)配3英寸加熱鋁制真空吸盤(支持定制),通過真空吸附固定樣品,確保運(yùn)行穩(wěn)定與定位精度。系統(tǒng)支持多段程序控制(最多6段),實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速分段調(diào)節(jié)與平滑加速,提高薄膜均勻性并減少材料浪費(fèi)。結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡便,適用于科研及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-04-13
  • 訪  問  量:51

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

·采用真空吸附方式固定樣件,操作簡便,定位可靠,真空度可達(dá) -0.08 MPa。

·配有樣品定位工具,可快速實(shí)現(xiàn)樣件居中,減少偏心引起的震動(dòng)或飛片現(xiàn)象。

·可根據(jù)不同樣件尺寸配置不同規(guī)格真空吸盤,吸盤具有加熱功能,且更換方便。

·采用24V直流無刷電機(jī),運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、振動(dòng)小,啟動(dòng)和加速穩(wěn)定,可有效保證涂層厚度的一致性和均勻性。

·配備無油雙缸真空泵,結(jié)構(gòu)簡單、體積小、維護(hù)方便、無油污染。

·腔體采用聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì),耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿腐蝕,抗應(yīng)力開裂性能好,使用壽命長;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),堅(jiān)固耐用且重量輕。

·支持在惰性氣體氣氛(如 Ar、N?)環(huán)境下進(jìn)行涂層制備。

·采用 PLC 控制系統(tǒng)與觸摸屏操作界面,參數(shù)顯示直觀,操作方便可靠。

·設(shè)備具有開蓋安全保護(hù)功能,運(yùn)行過程中打開上蓋設(shè)備將自動(dòng)減速直至停止,提高設(shè)備安全性。


VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品名稱

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-100PAD

安裝條件

1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度: 0-45℃。

2、設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。

3、水:設(shè)備配有排污下水口

4、電:單相:AC220V 50Hz 國標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地

5、氣:真空負(fù)壓(真空泵) 抽氣流量不小于 70L/min(設(shè)備可通保護(hù)惰性氣體;如:Ar N2)

6、工作臺(tái):建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)最佳)

7、通風(fēng)裝置:無特殊要求

主要參數(shù)

1、供電接口:AC220 50Hz

2、涂膜腔體(材質(zhì)):聚四氟

3、載樣盤(吸盤):3英寸鋁制真空吸盤1個(gè)(其他尺寸真空吸盤可定制)

4、運(yùn)行方式:包含1組程序,每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段

5、涂膜轉(zhuǎn)速:500rpm-10000rpm 有效(轉(zhuǎn)速遞增量為100rpm)

6、涂膜時(shí)間:每段時(shí)間范圍:1-9999s

7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%

8、控制方式:PLC編程器+觸摸屏

9、加熱方式:電阻絲加熱、控制與主機(jī)控制關(guān)聯(lián)

10、加熱溫度:RT-100℃,加熱時(shí)間最高可設(shè)置9999s。溫度控制可選擇與程序控制關(guān)聯(lián),也可獨(dú)立控制(有溫度開啟設(shè)置鍵)

11、加熱功率:AC220V 150W 控溫精度:±5℃

12、產(chǎn)品規(guī)格:

·尺寸:450mm×280mm×340mm;

·重量:20kg

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)






































VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)


序號(hào)

名稱

數(shù)量

圖片鏈接

1

3英寸制真空吸盤

1個(gè)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

2

中心定位器(含4個(gè)定位柱)

1個(gè)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

3

滴液器

1個(gè)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

4

無油真空泵

1臺(tái)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)















VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

序號(hào)

名稱

功能類別

圖片鏈接

1

進(jìn)口移液器

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

2

國產(chǎn)移液槍

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

3

其它尺寸的真空吸盤

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)



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